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产品概述：
该系列雷竞技官网入口为钙钛矿太阳能电池、OLED、锂电池、量子点LED、OPV等产业研发镀膜专用雷竞技官网入口，雷竞技官网入口可蒸发镀金、银、钛、铬、钼、SIO2 ITO AZO 氧化镍等材料。雷竞技官网入口可集成电阻电子束、电阻蒸发、有机蒸发对接手套箱雷竞技官网入口实现旋涂、镀膜、测试等工艺流程在无水无氧手套箱环境下进行。
| 真空室 | 500×500×H650mm；不锈钢方箱式前、后开门结构。 |
| 可以独立使用，也可根据客户要求与手套箱对接。 | |
| 真空雷竞技官网入口 | 分子泵+机械泵/干泵。 |
| 极限真空 | 优于10-5Pa。 |
| 恢复真空时间 | 达到9×10-4Pa≤20min。 |
| 蒸发源 | 8-10KW电子枪4-8坩埚可选；可同时兼容2-4组电阻蒸发或有机束源炉。 |
| 电控雷竞技官网入口 | 西门子PLC+触摸屏手自动控制或电脑控制可选，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警。 |
| 选配 | 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/掩膜板mask/蒸发电源/离子源/钨舟钼舟。 |
| 雷竞技官网入口配电 | 电压： 380V。 |
| 功率：≤15KW。 | |
| 雷竞技官网入口尺寸 | 长×宽: 1450mm×900mm。 |
| 型号推介 | 所有配置均为国产一线品牌，性能稳定可靠。 |
| 配套推荐 | 掩膜板/气动热压机、防水膜涂覆雷竞技官网入口(电池封装)/电池效率测试雷竞技官网入口。 |
